LDD
LTPO
PPI
RF型加速器
アークチャンバ
アース捧
アレイ工程
イオンビーム
イオン源
イオン注入
イオン注入装置
イオン分解能
エネルギーコンタミネーション
エレクトロンサプレツサ
エレクトロンフラッドガン
エンドステーション
オリフラ合わせ機構
ガスボックス
加速
ガラス基板アライナー
ガラス基板カセット
ガラス基板用真空ロボット
キャリヤガス
グリッチ
クロスコンタミネーション
コリメータ
スカラー型ロボット
スキャンビーム電流
ステアリングコイル
セルフアライメント
ソース/ドレイン
ソースマグネット
チャージアップ
チャネルドープ
ツイスト角
ティルト角
ドーズ
ハイブリッドスキャン
パラレルビーム
ビームエネルギー
ビーム安定性
ビーム集束系
ビーム電流量
ピクセル(画素）
ファイナルエナジーマグネット
ファラデー
プラズマフラッドガン
プラテン
プロファイルモニター
マザーガラス
マルチカスプイオン源
マルチスリット電極
メカニカルスキャン
レーザーアニール
引出電圧
加速管
加速電圧
減速モード
固体蒸発源
高エネルギーイオン注入装置
酸化物半導体
磁場スキャン
純水冷却
静電スキャン
多孔電極
大電流イオン注入装置
中電流イオン注入装置
注入均一性
低温ポリシリコン
薄膜トランジスタ
分析スリット
分析マグネット
ウェーハディスク
3Dドーピング
APC
FEOL
GaAsへのイオン注入
GaNへのイオン注入
Geへのイオン注入
InPへのイオン注入
LSS理論
RBS
SCM
SiCへのイオン注入
SIMS
Siへのイオン注入
TEM
イオンビームエッチング （IBE)
ウェル注入
エクステンション注入
オン抵抗
クラスター注入
ゲート注入
ゲッタリング
コインプラ
コンタクト注入
コンペンセイション
サーマルウェーブ
サーマルバジェット
シート抵抗
シャロージャンクション
スーパージャンクション
スケーリング則
スマートカット
チャネリング
チャネリング注入
チャネル注入
ドーズ合わせこみ
ハロー/ポケット注入
プリアモルファス化
メタルコンタミ
モンテカルロシミュレーション
一次欠陥
拡がり抵抗法
拡散係数
核反応
活性化アニール
固溶度
高温注入
材料改質
斜めイオン注入
阻止能
増速拡散
多価イオン注入
多段注入
第一原理計算
低温注入
二次欠陥
飛程
不純物揺らぎ
分子イオン注入
分離注入
埋め込み層
陽電子消滅法
裏面イオン注入
1電子（1価イオン1個）の電荷量
イオン注入における注入角度精度
イオン注入に主に用いられるマスナンバー
イオン注入装置の運転でよく用いられる単位
ビーム中の総イオン数を、ビーム電流から算出する
真空度の換算
絶縁破壊強さ（kV/mm）
地磁気（水平分力）
注入熱量の計算
熱伝導率（W/ｍ・K）
溶剤の沸点
