- 英語表記
- final energy magnet , FEM
エネルギーコンタミネーションを除去することを主目的として設けられるマグネットをさす。基本的には、分析マグネットと同じ原理によるが、加速管よりもビームライン下流側に設けることで、加速管内部で発生したエネルギーコンタミネーションを注入位置の前で除去する目的で用いられ、構成・配置の面でも異なる。
![ファイナルエナジーマグネット](https://www.nissin-ion.co.jp/wp/wp-content/themes/original/img/csv/46.jpg)
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
装置に関連する用語
エネルギーコンタミネーションを除去することを主目的として設けられるマグネットをさす。基本的には、分析マグネットと同じ原理によるが、加速管よりもビームライン下流側に設けることで、加速管内部で発生したエネルギーコンタミネーションを注入位置の前で除去する目的で用いられ、構成・配置の面でも異なる。