イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

ファイナルエナジーマグネット

英語表記
final energy magnet , FEM

エネルギーコンタミネーションを除去することを主目的として設けられるマグネットをさす。基本的には、分析マグネットと同じ原理によるが、加速管よりもビームライン下流側に設けることで、加速管内部で発生したエネルギーコンタミネーションを注入位置の前で除去する目的で用いられ、構成・配置の面でも異なる。

ファイナルエナジーマグネット