イオンビーム

イオン源で発生させたイオンを、引出電圧で引き出し、加速電圧で加速することで、エネルギーを持ったイオンビームとすることができる。イオンビームは、真空中を、電場（電界）によって加速又は減速され、磁場（磁界）によって曲げられながら、輸送される。イオンビームが光と異なる点は、イオンビーム中のイオンは、それ自身で同種の電荷を持つため、イオン同士の反発が生じて、ビームは自然に発散することである。特に低エネルギーのイオンビーム輸送においてこの現象が顕著にあらわれる。イオンビームを効率良く輸送させるための各種電極、磁極の配列（これをビーム輸送系と言う）は、レンズを用いた光の集光・散光システムになぞらえて、ビーム光学系と呼ばれる。