イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

ハイブリッドスキャン

英語表記
hybrid scan

ウェーハの面積全域にイオン注入を行うために行うスキャンについて、片方向をイオンビームのスキャン(静電スキャン、磁場スイープ(スキャン))で行い、別な一方を機械的なスキャン(メカニカルスキャン)を用いて行う方式を、ハイブリッドスキャンと呼ぶ。

ハイブリッドスキャン