ハイブリッドスキャン

ウェーハの面積全域にイオン注入を行うために行うスキャンについて、片方向をイオンビームのスキャン（静電スキャン、磁場スイープ（スキャン））で行い、別な一方を機械的なスキャン（メカニカルスキャン）を用いて行う方式を、ハイブリッドスキャンと呼ぶ。