- 英語表記
- hybrid scan
ウェーハの面積全域にイオン注入を行うために行うスキャンについて、片方向をイオンビームのスキャン(静電スキャン、磁場スイープ(スキャン))で行い、別な一方を機械的なスキャン(メカニカルスキャン)を用いて行う方式を、ハイブリッドスキャンと呼ぶ。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
装置に関連する用語
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