- 英語表記
- Multiple chareged ion implantation
1価のイオンを加速電圧をA kVとした場合、イオンの注入エネルギーはA keVとなりますが、2価イオンを用いた場合は2A keV、3価イオンを用いた場合は3A keVとなります。この様に、多価イオンを用いることで高エネルギーイオン注入が可能となります。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
プロセスに関連する用語
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
プロセスに関連する用語
1価のイオンを加速電圧をA kVとした場合、イオンの注入エネルギーはA keVとなりますが、2価イオンを用いた場合は2A keV、3価イオンを用いた場合は3A keVとなります。この様に、多価イオンを用いることで高エネルギーイオン注入が可能となります。