EXCEED3000AHシリーズ

EXCEED3000AHシリーズ

半導体製造用イオン注入装置

EXCEED3000AHシリーズ

ナノ・テクノロジー・ノードに対応した高い生産性と
プロセス信頼性を有した豊富な実績の中電流イオン注入装置

特長

最適なライン構成に寄与するモデル

  • ハイコストパフォーマンスモデル

業界最高の生産性

  • 薄ウェーハ等、多様な基板に対応した搬送システム
  • 低エネルギービーム量向上
  • 平均オートチューン時間<2分

市場で実証された注入品質

  • エネルギーコンタミネーションの完全除去
  • 水平・垂直両方向のビーム角度フィードバックシステム:多点ファラデーシステム

同一プラットフォーム上での進化

  • 信頼性・プロセス互換性・パーツ互換性を維持した、最少リスクでの性能向上