ウェーハディスク

大電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置になどに用いられるバッチ処理方式においては、大きな円形ディスクの円周に沿ってウェーハを保持させ、そのディスクを回転させることで、ウェーハにビームをまんべんなく注入させることが多いが、このディスクをウェーハディスクと言う。回転するウェーハディスクを用いる理由は、各ウェーハに均一に注入を行い、同時に、大電流ビームを用いることによる瞬間的な熱負荷によるダメージを避けるためである。