ビーム安定性

イオン注入装置の特性である装置の安定性を表す手法のひとつとして、発生するイオンビームの安定性を測る方法がある。一般に、所定の条件でイオンビームを立ち上げた後、そのままビーム電流量をモニターし、所定の時間内にどのくらい変化したか（変化しなかったか）を、当初のビーム電流量に対する変化量の割合で表現する。