核反応

原子核に粒子が入射して、あらたな原子核を生じるとともにα線やγ線などの粒子を発生させる現象。数MeV領域のエネルギーでイオン注入を実施する場合、特に水素イオン注入においては注意が必要。特にある特定の共鳴幅（エネルギー幅）で起こる共鳴核反応（Resonant nuclear reaction)は比較的低エネルギーのイオン注入で発生する。例を挙げると163keVのHとB の反応 11B(p,γ)12C、226keVのHとAlの反応 27Al(p,γ)28Si、457keVのHとCの反応 12C(p,γ)13Nなどによるγ線の発生がある。