ガラス基板アライナー

ガラス基板の位置決め行う機器の名称。半導体用のウエハーアライナーは、ウェハーのセンターリング及びノッチ・オリフラ合わせを行う。FPD用のガラス基板アライナーはガラス基板のエッジラインの整列を行う。ガラス基板にマークがある場合はマーク合わせを行う。基板の整列には外部機構で基板を直接押してガラス基板を整列させる方法と、大気ロボットなどのガラス基板の位置を移動・変更できる機器に外部センサーまたは画像処理などの機能を使ってズレの補正を行う方法がある。