LSS理論

一般に注入したイオンは統計的な変動をもって分布しガウス分布となる。LSS(Linhard, Scharff, Schiott)理論は、種々のイオン種、エネルギーにおいて電子阻止能、核阻止能から投影飛程Rpおよび深さ方向の標準偏差ΔRpを求める理論です。RpおよびΔRp値を用いて、深さxの位置の不純物濃度N(x)は、注入量をNDとした場合、以下の式で与えられる。実際のイオン注入の分布は、式で与えられるガウス分布と異なり左右非対称な分布となる。これは、イオンと原子の衝突過程で広角散乱の確率が増えるためにイオンの分布が表面に偏るためである。現在はモンテカルロ法を用いたシミュレーションで注入分布を正確に求めることができる。