材料改質

物質に数atomic%の不純物を導入することで物質の性質を変えることが可能となる。イオン注入を用いる場合は、材料表面部に改質層ができるため表面改質(Surface Modification)と呼ばれることもある。材料改質には1E16/cm2以上の注入が必要で、生産性を考えた場合、超大電流での注入が必要となる。当社の製品KYOKA 鏡花はこの要求事項を満たし、材料改質の量産を可能とする装置である。材料改質の用途としては、物質の光学特性、抵抗などの電気特性、耐腐食性などを変えることに加えて、半導体プロセスでは、エッチング速度の変更や表面状態の変更によるエリア選択プロセスの実現、応力制御、エッチング時のマスク硬化などがある。微細化素子では、マスク重ね合わせによる位置ずれを回避する目的でセルフアラインプロセスが要求されており、エッチング速度の制御による選択比向上が注目されている。