加速電圧

イオン源から引出電圧によって引き出されたイオンは、引出電圧分だけのエネルギーを持っている。このイオンに対して、注入に必要なエネルギーにまでイオンを加速するために、イオンを「加速電圧」のかかった加速管の中を通すことになる。注入されるイオンのエネルギーは、加速電圧と引出電圧の和と、さらにイオンの価数によって決定される。例えば、引出電圧30ｋV、加速電圧70ｋVの場合、1価イオンのエネルギーは100ｋeVになるが、2価イオンのエネルギーは200keVになる。