イオン注入に主に用いられるマスナンバー

イオン注入に主に用いられるマスナンバー
B（ホウ素）：11
C（炭素）：12
Si（ケイ素）：28 or 29 ※N2（28）を避けるために、29を使うことがあります...
P（リン）：31
BF2：49
As（ヒ素）：75
In（インジウム）：115
Sb（アンチモン）：121