チャージアップ

イオン注入を行われているウェーハが、イオンや電子による電荷や二次電子の放出で帯電すると、素子が破壊されたり、放電によってレジストが微小な爆発をすることがある。このような帯電をチャージアップと呼ぶ。チャージアップの対策として、エレクトロンフラッドガンやプラズマフラッドガンを用いることがある。