斜めイオン注入

ウェハに傾斜をつけてイオン注入する技術。トレンチ(溝)の側壁や、ゲート電極下のチャネル端に不純物を導入するために使われる。一方向からの注入のみでは非対称性が発生するために、ツイスト角を変化させて注入するステップ注入が用いられます。