プラテン

枚葉式のイオン注入装置のエンドステーションにおいて、処理するウェーハを保持する部分をさす。プラテンは、ウェーハを注入するための機械的な動作ができるよう、モーターユニットとセットになっていることもある。プラテンにおけるウェーハ保持方法としては、機械的にウェーハを挟み込んで保持する方式と、静電チャックを用いて電気的に保持する方法がある。