固体蒸発源

イオン源に導入するソースガスの発生（供給）手法のうち、固体の金属を高温で加熱する方法。例えば、金属Asを用いてAsイオンを発生させる場合には、固体蒸発源の中のオーブンと呼ばれる「るつぼ」に同金属を入れ、ヒーターによって300℃を超える温度まで加熱すると、金属Asがある蒸気圧をもって昇華する。この昇華ガスをイオン源に導入して、イオンを発生させる。固体の加熱方法としては、電熱ヒーターを用いる場合もあるが、ランプヒーターを用いることもある。固体蒸発源の場合、メンテナンスをするような常温では、ソースは金属であって扱いやすい状態であることが、ひとつのメリットと言える。逆に、蒸発源の昇温に時間を要することが、デメリットのひとつとなる。近年では、P、Asについては、ボンベに吸蔵された低圧のPH3、AsH3ガスを用いることが少なくない。