コリメータ

スポットで輸送されてきたイオンビームをウェーハに注入するために、電場、あるいは磁場を用いて、ウェーハの幅に合わせた大きさで走査（掃引）することがある。最近では、半導体デバイスへのイオン注入は、平行（パラレル）ビームを用いてなされることが多いが、この場合に、走査されていったん角度を持ったイオンビームを平行ビームにするために用いられるのが、コリメータである。コリメータを通ったイオンビームは、入射した角度の大小に応じた偏向を受け、結果として、どの角度で入射したビームについても、一定の方向に平行なビームとなって出射されるよう、コリメータは設計される。