イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

アレイ工程

英語表記
Array process

ディスプレイの製造工程は、アレイ工程、セル工程、モジュール工程の3つに分類され、TFTアレイは、画面を駆動する電気回路機能を持つ基板を作成する工程。半導体の工程に似ていて、洗浄、成膜、パターニング、エッチング等の一連の工程が繰り返し行われる。