エンドステーション

イオン注入装置において、イオン注入処理を行う注入室は、高真空に真空排気されている。このため、注入室にウェーハを導入するためには、エアロック室と、そこから注入位置までウェーハを搬送するロード/アンロード系など、あるいは、FOUP/SMIF/キャリアなどからエアロック室にウェーハを搬送する大気搬送系など、ウェーハ搬送系が必要となる。これらを組み合わせた全体を総称して、エンドステーションと呼ぶ。エンドステーションには、ウェーハディスクを用いて複数のウェーハを同時に注入するバッチ処理方式と、プラテンで保持したウェーハを一枚ずつ注入する枚葉処理方式の、二つの方式がある。