- 英語表記
- extraction voltage
イオン源のアークチャンバで発生したイオンは、正の電場(電界)によって、アークチャンバの外に引き出される。この電場(電界)を発生させるための電圧を引出電圧と呼び、アークチャンバとレッドボックス間の電位差がこれに相当する。大地側では、アークチャンバに開けられたイオン引き出し用のスリットと対向する形で引き出し電極と呼ばれるスリットのある電極が配置され、引き出されたイオンは、引出電圧分のエネルギーを持ったまま、引出電極のスリットを通って取り出される。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
装置に関連する用語
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