- 英語表記
ビーム電流（1価のみ）：μA、mA
ビーム電流（2価以上）：eμA（エレクトリック...）、pμA（パーティクル...）
注入エネルギー：eV（エレクトロンボルト）、keV（キロ...（ケブ））、MeV（メガ...（メブ））
注入ドーズ量：ions/cm2、atoms/cm2
処理能力・スループット：wph （Wafers per hour）
電圧：mV、V、kV
純水抵抗など：Ω・cm
スイープ周波数など：Hz、kHz
真空度：Pa（パスカル）、Torr（トル）、mmTorr（ミリトル）、mmHg（ミリ水銀）
圧力・差圧 ：kgf/cm2（キログラム重毎平方センチメートル）、MPa（メガパスカル）
ガス流量：ｃｃｍ
冷却水流量：L/min
時間の単位：sec（秒）、mmsec（ミリ秒）