- 英語表記
ビーム電流(1価のみ):μA、mA
ビーム電流(2価以上):eμA(エレクトリック...)、pμA(パーティクル...)
注入エネルギー:eV(エレクトロンボルト)、keV(キロ...(ケブ))、MeV(メガ...(メブ))
注入ドーズ量:ions/cm2、atoms/cm2
処理能力・スループット:wph (Wafers per hour)
電圧:mV、V、kV
純水抵抗など:Ω・cm
スイープ周波数など:Hz、kHz
真空度:Pa(パスカル)、Torr(トル)、mmTorr(ミリトル)、mmHg(ミリ水銀)
圧力・差圧 :kgf/cm2(キログラム重毎平方センチメートル)、MPa(メガパスカル)
ガス流量:ccm
冷却水流量:L/min
時間の単位:sec(秒)、mmsec(ミリ秒)