プラズマフラッドガン

チャージアップの対策として、注入による帯電を中和させるため、エネルギーの低い電子をウェーハに供給するために用いられる。同じ目的で用いられるエレクトロンフラッドガンがフィラメントによる熱電子を用いるのに対して、プラズマフラッドガンはイオン源のようにプラズマを発生させ、そこから低エネルギーの電子だけを引き出して、中和に用いている。プラズマフラッドガンが用いられる理由には、エレクトロンフラッドガンと比較して、低速の電子供給をより多く供給できることがあげられる。