ビームエネルギー

イオン注入を行う際の注入条件のひとつで、イオンビームのエネルギーを指す。イオンビームのエネルギーは、実際にイオン注入する注入深さに応じて決められるため、このパラメータは基本的なパラメータとなる。ビームエネルギーは、キロエレクトロンボルト（keV）、メガエレクロンボルト（MeV）などの単位で表される。