- 英語表記
- Scanning capacitance microscope
走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)は、先端が尖った針とサンプル間に発生する局所的な容量を測定することで、キャリアの導電型および濃度を測定する手法で二次元キャリマップを求めます。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
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