イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

マザーガラス

英語表記
mother glass

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどのアレイ基板やカラーフィルタ基板を製作するための板ガラス。製造工程の前半では、生産性向上のためにマザーガラスを切らずに製造工程を進め、終りに近い工程で、必要な基板サイズに切断する。
1枚のマザーガラスから取れる基板数は面取り数と呼ばれる。
マザーガラスの大きさとその月間や年間の処理枚数で、ディスプレイ向上の生産能力が表現される。

マザーガラス