イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

薄膜トランジスタ

英語表記
Thin Film Transistor

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイに広く使われている薄膜の電界効果トランジスタの1種の事で画像の表示素子として用いられる。高精度に加工された薄いガラス基板上にシリコン半導体や絶縁膜や金属配線等から構成されており、このトランジスタが用いられるディスプレイをアクティブマトリクス方式と呼ぶ。