エレクトロンサプレツサ

イオンビームの量を計測するためには、イオンビームを受けた物体がイオンから得る電荷量を、電流という形で測定する方法が一般的である。しかし、イオンが衝突した物体からは、二次電子が発生することがあり、二次電子が物体から逃げ出すことによる電荷量の変化（電流）により、イオンビームの測定に影響が及ぶことがある。このため、発生した二次電子が物体から逃げない（発生しても物体に戻る）ように、物体の周りに電子を乗り越えさせないような電場を設けたり、電子をトラップする磁場を設ける場合があり、これをエレクトロンサプレッサという。