拡散係数

物質に濃度勾配がある場合、フィックの法則に従ってドーパントは拡散する。単位時間当たりに単位面積を通過する流束を拡散係数Dと呼ばれる。拡散係数は温度の関数であり、拡散粒子と物質によって決まる。拡散長Lは√(Dt)で表すことができる。ここでtは熱処理時間である。