イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

プロセスに関連する用語

固溶度

英語表記
Solubility

物質中に許容される不純物濃度の事で、温度によって決まる。Si半導体に一般に用いられるB、P、Asは固溶度が大きい。固溶度以上に導入された原子は格子間に析出する。

固溶度