オリフラ合わせ機構

ウェーハのイオン注入は、そのウェーハの結晶軸とイオンビームの方向をある所定の角度に設定して注入することが必要となるが、その角度はティルト角、ツイスト角の２つの角度で決められる。このツイスト角を決める機構がオリフラ合わせ機構である。オリフラ合わせ機構は、ウェーハを保持したまま回転運動、線運動を行い、同時に光学的なセンサーでオリエンテーションフラット位置、ノッチ位置を検出することで、基準に対して適切な位置へウェーハを合わせる。