- 英語表記
- mechanical scan
イオンビームをウェーハ上に均一に注入するために、ウェーハを保持したプラテンを機械的にスキャンする方式をさす。メカニカルスキャンとビームスキャン(スイープ)を一軸ずつ採用するハイブリッドスキャン方式や、完全にメカニカルスキャンのみを用いる方式もある。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
装置に関連する用語
イオンビームをウェーハ上に均一に注入するために、ウェーハを保持したプラテンを機械的にスキャンする方式をさす。メカニカルスキャンとビームスキャン(スイープ)を一軸ずつ採用するハイブリッドスキャン方式や、完全にメカニカルスキャンのみを用いる方式もある。