メカニカルスキャン

イオンビームをウェーハ上に均一に注入するために、ウェーハを保持したプラテンを機械的にスキャンする方式をさす。メカニカルスキャンとビームスキャン（スイープ）を一軸ずつ採用するハイブリッドスキャン方式や、完全にメカニカルスキャンのみを用いる方式もある。