イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

ドーズ

英語表記
dose

イオン注入を行うためのパラメータのひとつで、ウェーハに注入される単位面積あたりのイオンの個数をいう。ウェーハに実際に注入されたイオンの総個数は、ドーズ量×ウェーハ面積で表される。