モンテカルロシミュレーション

モンテカルロシミュレーションとは、ランダムに発生させたN個の入力に対して、モデルに基づいてN個それぞれについて計算する手法で、イオン注入分布のシミュレーションにも用いられる。注入イオンの分布に加え、格子間原子や空孔の分布も計算することができます。代表的なものにSRIM/TRIMコード、さらにターゲットの結晶性を考慮したCrystal-TRIMやMARLOWEコードなどがある。