イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

プロセスに関連する用語

飛程

英語表記
Projected range

注入したイオンは電子および原子との衝突過程による軌跡を描いて静止します。その飛程を全飛程R、これを注入方向に投影した長さを投影飛程Rp(Projected Range)という。