エレクトロンフラッドガン

イオン注入中のウェーハは、イオンビームによって常に正の電荷を与え続けられ、電気的に帯電させられる。（これをチャージアップという。）チャージアップが発生すると、例えば、帯電した電荷の緩和（放電）によりレジストが破裂したり、デバイスそのものがダメージを受けることがある。この対策として、注入による帯電を中和させるため、エネルギーの低い電子をウェーハに供給する。これをエレクトロンフラッドガンと言う。この電子の源としてプラズマを使用するものを、特にプラズマフラッドガンと言う。