ドーズ合わせこみ

量産工場において複数の注入機がある場合、どの装置を用いて注入しても同じ特性が得られるようにする作業。製造メーカーが異なる場合の機差間、同じ機種であっても号機間で特性差が見られる場合、ドーズ係数を変えることで合わせこみを行います。合わせこみの指標は、サーマルウェーブ、シート抵抗、デバイス特性データなどを用います。その結果注入条件が同じであれば同一の特性を得ることができる。しかしながら、特に機種が異なる場合、ビーム径やビーム密度、スキャン方式などが異なり完全に合わせこむことは困難なことから、イオン種ごと、エネルギー領域ごとでドーズ係数を変えることもある。