ガラス基板用真空ロボット

ガラス基板の真空内搬送を可能にするロボットの名称。真空ロボットは昇降・回転・直線移動の機能を有する。直線移動の方式の違いでスカラー型と直線ガイドを有する直線型などに分類される。基板サイズが大きくなると高剛性の直線型が良く使用される。ロボットの各動作は真空中で行われるので動力は大気から真空内へ導入される。上下昇降動作はベローズなどが使われ、回転及び直線移動動作は磁気シール若しくはプラスチック製の真空シールなどが使用される。ガラス基板を乗せるロボットハンドは炭化強化プラスチック製：CFRP（Carbon Fiber Reinforced Plastics）が良く用いられる。このCFRPハンドは高剛性でガラス基板の重さによるハンドのたれを最小限に抑えることができる。