- 英語表記
- Positron Annihilation Spectroscopy
電子の反逆子である陽電子を用いて、物質中の空孔等の欠陥を測定する技術。陽電子が拡散し空孔にトラップされると消滅する寿命が長くなり、また空孔の複合体でもその寿命が異なることから、陽電子の寿命を測定することで、空孔の濃度、およびその形態を見積もることが出来ます。陽電子消滅法でこれまで直接的に観察することができなかった空孔の挙動が観察でき、イオン注入によって発生する空孔、およびアニールによる空孔の挙動が本手法を用いて評価できます。。