サーマルバジェット

ウェハプロセスの熱処理工程の総和。活性化アニール工程、酸化工程、CVD工程など熱が加わる工程の処理温度と処理時間によって決まる。注入されたドーパントはその後のサーマルバジェットによりどれだけ拡散するかが決まります。拡散を抑制するにはサーマルバジェットを少なくする必要があります。高温であっても処理時間が短いとサーマルバジェットは小さいが、逆に比較的低温でも処理時間が長いとサーマルバジェットは大きくなり、処理温度と処理時間のトータルで考える必要があります。