減速モード

低エネルギーのイオンビームでの注入に際しては、引出電圧をギリギリまで低くして対応する場合もあるが、イオンの引出量が少なくなってしまうため、引出電圧はそのままにしてイオンビームを引き出した後、減速を行って、イオンのエネルギーを所望のエネルギーまで低下させる方法が採られる。このため、イオン源部のうち、引出電極とアークチャンバ（イオン発生部）間には引出電圧をかけるものの、大地電位とアークチャンバ（イオン発生部）の間に減速電圧（減速モード電圧）をかけることで、減速電位の分だけマイナスとなった電位を基準として、そこから引出電圧分の電位を持ったイオンを引き出した後、引出電圧と減速電圧の差の電位分だけ、イオンを減速させることになる。