イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

ソースマグネット

英語表記
ion source magnet

イオン源のアークチャンバ部分に対して、磁場を導入するための磁石をいう。アークチャンバ内でアーク放電が起こる際、発生した電子を一定の空間に閉じ込めることによって、さらなる電離を促進させるために用いられる。