- 英語表記
- ion source magnet
イオン源のアークチャンバ部分に対して、磁場を導入するための磁石をいう。アークチャンバ内でアーク放電が起こる際、発生した電子を一定の空間に閉じ込めることによって、さらなる電離を促進させるために用いられる。
イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary
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