多孔電極

イオン源から大面積イオンビームを引出す場合、イオンビームの質も要求される場合は、多孔電極引出しかマルチスリット引出しのどちらかを選択することになる。
すなわち、イオンビーム引出しのために大きな孔を用いると、孔の周囲と中央の電位が違うために、プラズマから質の良いビームを引出すことができない。
多孔電極の場合は、直径数ミリメートルの多数の孔からイオンビームを引出す。通常3枚から4枚の引出し電極系を用いるが、それぞれの孔の位置が一致している必要がある。このアライメントは重要で、揃っていないと引出されたイオンビームは偏向してしまう。
円孔引出しはそこから引出されるビームレットが引出される方向と垂直な方向に等方的に発散する傾向があるが、周囲のビームレットからの斥力により、全体的に発散が抑制される傾向があることが知られている。
図はイオンドーピング装置iG4で用いている多孔引出し電極系の1枚めのプラズマ電極である。