RBS

数MeVの水素やHeイオンを入射して、後方散乱してくる粒子の個数およびエネルギーを測定することで、深さ数μmまでの領域の元素分析を行う測定法。また結晶のチャネル方向に入射することで結晶性の評価も可能となる。これは、結晶中の格子間原子や不純物原子が存在すると後方散乱する確率が増えるためである。この技術で結晶回復過程の解明等が行われています。