ツイスト角

注入処理に用いられるウェーハの配置を表すパラメータのひとつで、オリエンテーションフラット（オリフラ）かノッチを基準として、ウェーハを一定の角度に回転させた角度を言う。実際の装置運用においては、ターゲットチャンバーにおいて、オリエンテーションフラット（オリフラ）かノッチを、注入するイオンビームから見て下側に配置し、これを基準として、ビームから見て、ウェーハを反時計まわりに回転させることで、ウェーハの配置を表現することが多い。