イオン注入ディクショナリーIon Implantation dictionary

装置に関連する用語

チャネルドープ

英語表記
Channel Dope

電界効果トランジスタの「ソース」「ドレイン」間の電気が流れるゲート電極直下のチェネル領域に、少量で正確なイオン(ドーズ量: <5E12ions/cm2)を注入する事によって、閾値電圧を制御する事。