SIMS

SIMS（二次イオン質量分析法）は、プローブとして酸素(O)やセシウム(Cs)イオンを測定したい試料に入射させ、スパッタされた原子の質量分析を行うことで、材料中の物質の定量解析を行う分析法です。試料は深さ方向にスパッタリングされ、その深さを測定することで深さ方向の情報が得られます。また、あらかじ濃度分布が判っている標準試料を用いることで、正確な濃度の定量分析が可能です。イオン注入分布やその後のアニールによる拡散状態を調べるために広く用いられます。