スキャンビーム電流

イオンビームを走査（掃引、スキャン、スイープ）して注入する場合のビーム電流をいう。スポットのイオンビームの計測と異なり、一定周期でスキャンされるビームを測定するため、スキャンビームを完全に受けられる大きなファラデーを用いない時には、ファラデーにビームが入射した時だけにビームが計測され、周期的な計測波形が表れる。スキャンビームを実際に計測した真の物理電流量は、スポットビーム電流量と比較して非常に小さな値となるので、スポットビーム電流量に換算した値に変換（計算）して扱われることがある。