分子イオン注入

BF2、N2、P2のような分子イオンを注入する技術。区別するために通常の原子イオンの注入を原子イオン(Monomer ion)注入と呼ぶこともある。分子イオン注入では、各原子の質量数に応じてエネルギーが分配される。浅い接合形成には、低エネルギーイオン注入が必要だが、エネルギーが低くなるとビームが発散し輸送効率が悪くなる結果ビーム電流が低くなる問題がある。特にBイオンの場合、飛程がAsやPに比べて大きい為、低エネルギーが要求されるが、BF2イオンを用いることで同一プロファイルを得るためには高エネルギ化が可能となる。例えば5keVのBイオンと同じプロファイルを得るにはBF2では5*(49/11)=22.3keVでの注入となる。